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重氮类鎓盐是一类含有重氮基团（–N⁺≡N）并与阴离子结合形成的盐化合物，具有重要的应用价值，在多个领域发挥着关键作用。在半导体光刻工艺中，重氮类鎓盐因其独特的光敏特性和高效的光化学反应，成为KrF光刻
