电子级 双［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓与三氟甲磺酸的盐(1:1)

名称：电子级 双［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓与三氟甲磺酸的盐(1:1)

别名：

·           双［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓三氟甲磺酸盐

·           bis(4-(tert-butyl)phenyl)iodonium trifluoromethanesulfonate

·           双(4-叔丁苯基)三氟甲磺酸碘盐

CAS号：84563-54-2

分子式：C₂₁H₂₆F₃IO₃S

分子量：542.39 g/mol

外观：浅黄至浅棕色固体

产品指标：

·           纯度 ≥ 99.0%

·           单金属离子 ≤ 100 ppb

·           可根据客户需求定制更高规格

【产品简介】

双［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓三氟甲磺酸盐是一类电子级碘鎓盐光致产酸剂。其结构中含有活性的碘鎓阳离子与稳定的三氟甲磺酸阴离子，能够在紫外光或深紫外光照下高效分解产生强酸。生成的酸可催化光刻胶中化学放大型反应，是高分辨率光刻胶体系的重要关键组分。

【产品概述】

1.       属于电子级光致产酸剂，适用于深紫外光刻(DUV)及EUV光刻配方；

2.       光敏性高，产酸效率大且稳定；

3.       三氟甲磺酸阴离子化学惰性好，热稳定性高，减少阴离子迁移对性能的影响；

4.       经过严格的金属杂质控制和纯化工艺，满足半导体制造超高纯度要求。

【物理化学性质】

1.       分解温度：> 200 ℃，热稳定性优异；

2.       光敏特性：在深紫外光区有高效吸收，能高效生成活性酸；

3.       溶解性：可溶于光刻胶常用溶剂，如PGMEA、丙酮、乙腈等；

4.       储存条件：需在低温、避光、惰性气氛下保存，防止光照分解；

5.       形态：白色粉末或固体，便于配方分散。

【应用领域】

1.       半导体光刻胶：作为光致产酸剂应用于193nm ArF光刻胶、EUV光刻胶，支持高分辨率和低线边粗糙度(LWR)；

2.       显示材料：用于液晶显示、OLED及光敏绝缘膜的制备；

3.       微电子加工：适用于干法刻蚀、微纳米结构制备等先进制程工艺；

4.       特种高分子材料：作为光敏功能单体引发剂或催化剂，用于微结构聚合物及功能薄膜制备。

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